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EH2600愛德華羅茨泵維修EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需 要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。 機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可 靠。 應用 半導體制程 真空蒸餾 真空包裝 鋼脫氣 薄膜覆層 真空冶金 低密度風洞 空間

愛德華EH4200羅茨泵維修應用 半導體制程 真空蒸餾 真空包裝 鋼脫氣 薄膜覆層 真空冶金 低密度風洞 空間模擬 真空浸漬 油干燥和脫氣 制藥冷凍干燥 CO2激光

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