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型號(hào)：
iH600愛德華干式泵維修

描述：iH600愛德華干式泵維修
iH1800 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59040946
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商

  • 更新時(shí)間

    2024-07-04

  • 訪問量

    1823
詳細(xì)介紹
品牌Edwards/英國(guó)愛德華輸送介質(zhì)其他
泵軸位置其他葉輪數(shù)目其他
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池
iH600愛德華干式泵維修
iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59020946
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度                 518 m3h-1
                                305 cfm
                                8635 l min-1
極限真空                 2 x 10-3 mbar
                                1.5 x 10-3 Torr
                                0.2 Pa
典型軸封氮流量                 4 slm
進(jìn)氣口連接                 ISO100
出口連接                 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
                                4 l min-1
重量                         415 kg
極限功率輸入                3.1 kW
電機(jī)額定功率            5.1 kW
油容量                         1.43 l
 

功能和優(yōu)勢(shì)
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積

概述
Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
 
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

 東莞市鴻鑫真空設(shè)備有限公司專業(yè)維修愛德華iH系列，iXL系列等干泵
iH600愛德華干式泵維修
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